作用原理:空间除静电技术,是通过电离空气产生由正负两种空气离子组成的离子云,以中和生产环境中各处的静电,实现空气中的微尘粒子随层流风流动(空气动力>产品表面静电吸附力)从而被HEPA过滤,并减少静电损害事故。
核心技术:普通离子发生器采用风扇(压缩空气)+电离放电结构,可借助风力将离子云快速移动到作业面,电离机构电压值一般不高于7000V。而空间除静电因为要考虑不对FFU层流风产生扰流,一般采取无风高压放电形式,需要建立一个非常强的电场,从而导致电子在空气分子间移动,其高压值需要达到3万-4万伏。如此之高的电压值,对设计水平、工艺器件都提出了很高的要求。